SuperViewW白光干涉測量膜厚儀器3D重建算法自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統(tǒng)的配合下,，測量精度可達亞納米級別,。它以光學干涉原理為基礎，結合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D,、3D參數(shù),，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量

產品功能

1)樣件測量能力：單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質等所有類型樣件表面的測量,；

2)單區(qū)域自動測量：單片平面樣品或批量樣品切換測量點位時,，可一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索、掃描等功能,；

3)多區(qū)域自動測量：可設置方形或圓形的陣列形式的多區(qū)域測量點位,，一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索、掃描等功能,；

4)自動拼接測量,；支持方形,、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能,，配合影像導航功能,，可自定義測量區(qū)域，支持數(shù)千張圖像的無縫拼接測量,；

5)編程測量功能：支持測量和分析同界面操作的軟件模塊,，可預先配置數(shù)據處理和分析步驟，結合自動單測量功能,，實現(xiàn)一鍵測量,；

6)數(shù)據處理功能：提供位置調整、去噪,、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據處理功能；

7)數(shù)據分析功能：提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結構分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,。

8)批量分析功能：可根據需求參數(shù)定制數(shù)據處理和分析模板，針對同類型參數(shù)實現(xiàn)一鍵批量分析,；

9)數(shù)據報表導出：支持word,、excel、pdf格式的數(shù)據報表導出功能,，支持圖像,、數(shù)值結果的導出；

10)故障排查功能：配置診斷模塊,，可保存掃描過程中的干涉條紋圖像,；

11)便捷操作功能：設備配備操縱桿，支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調節(jié),、光源亮度調節(jié),、急停等；

12)環(huán)境噪聲評價：具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評價功能,，定量檢測出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率,，為設備調試和故障排查提供定量依據；

13)氣浮隔振功能：采用氣浮式隔振底座,，可有效隔離地面?zhèn)鲗У恼駝釉肼?，確保測量數(shù)據的高精度；

14)光源安全功能：光源設置無人值守下的自動熄燈功能，當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,，防止光源高亮過熱損壞,，并有效延長光源使用壽命；

15)鏡頭安全功能：雙重防撞保護,，軟件ZSTOP防撞保護,，設置后即以當前位置為位移下限位，不再下移且伴有報警聲,；設備配備壓力傳感器,，并在鏡頭處進行了彈簧結構設計，確保當鏡頭碰撞后彈性回縮,，進入急停狀態(tài),，大幅減小碰撞沖擊力,，有效保護鏡頭和掃描軸,，消除人為操作的安全風險。

性能特點

1,、干涉物鏡

不通倍率的鏡頭,，適應于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品。

2,、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

外接氣源和加壓裝置直接充氣的雙通道氣浮隔振系統(tǒng),，可有效隔離地面?zhèn)鲗У恼駝釉肼暋?/p>

3、聲波隔振防護

儀器外殼與內部運動機構采用了分離式設計,，有效隔離了聲波振動的傳導,。

4、水平調整裝置

傾斜調整旋鈕,，調整條紋寬度,，提高3D圖像的重建精度。

5,、便攜式操縱桿

采用人體工程學設計,，集成了XYZ三軸位移和速度、光源亮度的自動控制,，并配有緊急停止按鈕,。

6、真空吸附臺

專為半導體晶圓片定制的真空吸附臺,，確保樣品在測量過程中不受空氣中微弱氣流擾動的影像,。

7、3D重建算法

SuperViewW白光干涉測量膜厚儀器自動濾除樣品表面噪點,，在硬件系統(tǒng)的配合下,，測量精度可達亞納米級別。

自研3D顯微測量軟件平臺Xtremevision Pro

Xtremevision Pro

全自主開發(fā)的第二代顯微3D測量軟件平臺,，集成了圖像掃描,、3D分析,、影像測量、自動化測量等四個大的功能模塊,，能夠適配中圖W系列,、VT系列、WT系列所有3D儀器機型,，可自主識別機型種類,，二合一機型可在白光干涉和共聚焦顯微鏡中做到自動切換掃描模式。

Xtremevision Pro 移植了中圖在影像閃測領域的成功經驗,，重構了顯微影像測量功能,，可針對微觀平面輪廓尺寸的點、線間的距離,、角度,、半徑等參數(shù)進行直接測量和自動匹配測量。

自動化mark點識別坐標定位自動化功能

Mark點影像識別自動坐標位置校正,，多區(qū)域坐標點自動定位測量與分析,，可組合式完成粗糙度、輪廓尺寸的批量自動化測量,。

自動拼接功能

支持方形,、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能,，配合影像導航功能,，可自定義測量區(qū)域，支持數(shù)千張圖像的無縫拼接測量,。

玻璃表面臺階檢測

透明玻璃表面金屬膜層厚度測量

利用軟件的自動面臺階高檢測功能對重建的3D圖像兩臺階高進行檢測,，從數(shù)值可知，兩臺階面平均高度差為82nm,，而至大高度差90nm,，至小高度差為78nm。

部分技術指標

懇請注意：因市場發(fā)展和產品開發(fā)的需要,，本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,，恕不另行通知，不便之處敬請諒解,。

如有疑問或需要更多詳細信息,，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。